基于SOI工艺的水平振动梳状硅微谐振器的品质因数Q值在真空封装下能达到105量级以上。但是在常压下,由于受到空气阻尼的影响,其Q值往往降至102量级甚至更小。增加谐振器质量可以提高Q值,但是会增大谐振器面积使绝缘层难以释放。由此提出了一种减小空气阻尼来提高水平振动谐振器Q值的方法,通过设计一系列不同形状的开孔硅微谐振器并比较其实验数据,得到最优的释放孔结构以减小谐振器所受的空气阻尼从而得到更高的Q值。该研究对水平振动谐振器结构设计有一定意义。 仿真中气体连续方程采用纳维尔—斯托克斯方程，控制方程如下［中ρ为流体的密度，v→为流体的速度，p为流体压力，F→为施加的外力，Δ和Δ2分别表示梯度和拉普拉斯算子。仿真结构分为2种:孔结构和槽结构，2种结构开孔的面积与位置完全相同，运用COMSOLMultiphysics软件对该结构进行模拟仿真，选择微流和流固耦合模块，模拟的环境设置为不可压缩流。流线截面图如图1所示。(a)%孔结构(a)%hole(b)%槽结构(b)%grove图1开孔结构流线仿从图1可以发现:孔结构和槽结构内壁的两侧都会受到流体的微小冲击，说明压膜阻尼会发生在孔结构和槽结构的两侧，点数的关系-数控滚圆机滚弧机价格低张家港电动液压折弯机多少钱且会有一定的抵消;槽结构内壁两侧受力区域的流线密度比较均匀，面积几乎相同。孔结构的流线密度不均匀，右侧内壁的流线密度高于左侧内壁，流线面积并不相等，这说明槽结构比孔结构能更好的抵消压膜阻尼。不同的结构形状对于空气压膜阻尼的抵消情况不同。如图2所示，方形结构的侧壁完全承受流体冲击力，圆形结构和等边菱形结构对其有一定的抵消。等边菱形孔对力的抵消作用比较充分，而圆形孔的抵消作用由于压力区域的不同而不同，效果要低于菱形孔。此分析适用于采用以上形状作为槽头的槽结构。图2结构形状的抵消作用件对采用不同结构形状的孔结构和槽结构进行流体仿真，仿真结构主要参数:长度为100μm，宽度为50μm，高度为40μm，本文由张家港市泰宇机械有限公司大棚折弯机网站采集网络资源整理!    http://www.dapengzhewanji.com/开孔面积为600μm2，流体仿真条件和流线仿真设置相同。仿真结果中提取水平考虑到水下传感器能力受限的特点,提出了一种针对不确定事件监测的水下传感器网络部署方法。初始部署阶段采用随机深度调节的方法让节点均匀分布,以捕捉到更多的事件。重部署阶段节点则根据探测到的事件信息,基于虚拟力的方法进行移动,并且通过引入分簇控制的思想,将节点移动范围限制在各个簇内,从而降低了重构的规模,保证了网络的连通性。仿真结果表明:该算法可以在满足覆盖性能的同时,有效缩短节点的移动距离。 首节点必须始终保持活跃状态。3仿真分析本节将对上述部署方法进行仿真验证，并在相同的仿真条件下，将本文的基于虚拟力的重部署算法与文献［6］的FSSD算法进行性能对比。本文仿真均基于Matlab7．0的平台，点数的关系-数控滚圆机滚弧机价格低张家港电动液压折弯机多少钱并在2．9GHz的CPU，512M内存的计算机环境下运行。基于虚拟力的重部署算法中，设定参数ke=15，k'e=10，kb=10，fth=0．2。FSSD算法中，设定单个节点的最大觅食次数为3，最大移动次数为30。为了更好地反映统计规律，所有结果都是多次模拟结果的平均值。3．1事件覆盖度的比较在图3的仿真中，监测水域的体积为100m×100m×100m，随机分布有300个事件，rc槡=206m，rs=6m，Δd=2m，l=20m。图3表示在相同的初始部署情况下，事件的覆盖期望D=1时，本文重部署算法和FSSD算法取得的事件平均覆盖度与网络中的节点数量的关系。由图中可见，随着节点数的增多2种算法对事件的平均覆盖度均会增加，而且FSSD算法的平均覆盖度高于本文算法。这主要是因为本文算法的重构是在各个簇内展开，节点可自由运动的范围远小于FSSD算法，从而影响了网络覆盖性能。此外，当节点数达到700时，本文算法的平均覆盖度仍保持在覆盖期望1附近，但是FSSD算法的平均覆盖度已经远超过了覆盖期望。这是因为FSSD算法中事件对节点的聚集效果非常明显，但它的拥挤度控制策略却比较宽松，最终导致了大量的冗余节点和重复覆盖;而在本文算法中，如果事件的覆盖度超过期望，事件就会对节点产生斥力以降低覆盖度点数的关系-数控滚圆机滚弧机价格低张家港电动液压折弯机多少钱本文由张家港市泰宇机械有限公司大棚折弯机网站采集网络资源整理!    http://www.dapengzhewanji.com/